原子力显微镜

名称

Facility

原子力显微镜

型号Model

AFM-Ha

国别、厂商

Manufacturer

浙大光电

性能指标

Performance index

1. 采用独特的卧式AFM探头设计，光路设计为开放式，可实现光路操作的可视化。

2. 最大扫描范围：4000 nm ×4000nm；

3. 扫描分辨率：横向0.2nm，纵向0.1nm；

4. 样品台及样品大小：最大30mm×30mm×10mm；

5. 图像采样像素点：同时提供200×200点/幅，400×400点/幅，256×256点/幅，512×512点/幅的扫描像素点，图像灰度等级256；

6. 图像扫描速率：每分钟1—10幅图像，最高扫描速率1幅图像/5秒；

7. 图像格式：通用的BMP格式，并可转换成任何图像格式存储、打印；

8. 配备进口AFM微探针，具有4种力学常数，微悬臂有效长度100μm和200μm；

9. 配备光学显微镜与数码视频监控系统，最大视场1500μm，最高光学分辨率0.5μm，用于AFM微探针及微纳米样品的视频观察；

10. 配置计算机主机，彩色液晶显示器，A/D&D/A控制接口卡；

11. 能够在有光照、有轻微震动及有人员走动的一般环境下正常工作。

承担教学

实验项目

Purpose

本科生、研究生论文实验,科研课题等。

应用范围

Application

广泛应用于导体、半导体和绝缘体样品的表面结构形貌的检测。